射频真空等离子清洗机(JJ20261533)采购公告

发布时间: 2026年11月02日
摘要信息
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相关单位:
***********公司企业信息
项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
射频真空等离子清洗机****
2026-11-02 17:17:022026-11-05 19:00:00
****货到验收合格付款
合同签订3个工作日内
¥
****B****实验室

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
射频真空等离子清洗机 1 台 热处理设备
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
慧仪智控
13.56MHZ射频
¥
台式双滚筒一体化结构,其他参数要求: 1、★设备类型:射频真空等离子清洗机,台式双滚筒一体化结构。(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 2、★射频工作频率:13.56MHz工业标准射频频率。(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 3、★等离子输出功率:射频功率连续可调,调节范围10W150W,最大输出功率不低于150W可通过触摸屏直接设置功率,非档位式调节。(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 4、供电条件:交流220V,50/60Hz单相供电。 5、★腔体有效容积:腔体有效容积≥4L。(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 6、★电感耦合自动匹配,(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 7、★MFC:2路气体流量通道(★为实质性响应条款,负偏离将否决投标) 6、样品载物:滚筒式载料 7、真空腔体:腔体内径≥Φ148mm,腔体具备良好耐等离子腐蚀能力,整机真空密封性满足等离子工艺使用要求。 8、控制系统:采用PLC可编程控制器+彩色触摸屏集成控制;可自由设置处理时间、射频功率、气体流量、抽真空时间等全部工艺参数;设备可存储多套完整工艺配方,可一键调取运行。 9、工艺气路:不少于2路独立工艺气体通道,每一路气体流量均可独立调节,配置高精度流量控制元件。 10、适用工艺气体:可使用氩气、氧气、氮气、干燥空气,支持两种及以上气体混合等离子工艺处理。 11、真空系统:配套专用真空泵,真空泵抽速≥2.2L/s;真空泵自带油污过滤装置,有效避免泵油返流污染腔体及工件;设备配置真空数显模块,实时显示腔体内真空压力。 12、整机外形:台式机型,整机外形尺寸长≤630mm,宽≤550mm,高≤480mm,无需做专用设备地基,普通工作台即可安放。 13、安全保护功能:设备具备过功率保护、射频过载保护、过温保护、真空异常报警、舱门联锁保护功能;设备出现故障自动停机,触摸屏弹窗显示故障代码与故障信息。 14、数据记录功能:设备能够自动保存运行日志,记录实际输出功率、处理时间、气体流量、腔体真空度等关键工艺数据,支持历史运行记录查询。
电话支持:7x8小时;质保期限:2年;

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